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- 研究開発と生産のためのリソグラフィ技術ソフトウェア
フルチップ(FullChip) Panoramic Technology社
- 空間像/レジスト/エッチ輪郭を高速に計算
- 設計検証、ホットスポット検出をチップ全体で実現しました。
- OPC、ルールベース/モデルベースのSRAF配置
マルチパターニング分解、リターゲッティング等のパワフルなパターンマッチャー
- 先進リソグラフィ用 3D電磁界シミュレータ
イーエム・スイート(EM-Suite) Panoramic Technology社
- 3D電磁界シミュレーションソフトウエア TEMPESTprを使用して先進のリソグラフィのシミュレーションをおこないます。
- Anisotropic griddingにより、三次元の計算を約10倍早く行い、パソコンでの実行を実現しました。
- マスク上の図形、異物、欠陥などを編集します。UC Berkeleyで開発された差分タイムドメーン電磁界シミュレータTEMPESTに
インターフェースされ、解析されます。OPCやPSM、EUV等がシミュレーションできます。
- 設定が簡単な3Dリソグラフィシミュレータ
ハイパーリソ(HyperLith) Panoramic Technology社
mask-in-stepperリソグラフィシミュレーションが簡単に設定ができ、結果がすぐに得られます。
複雑な設定用にあらかじめ設定されたテンプレートが用意されています。
プロセスウインドウやステッパーのパラメータ等のリソグラフィ条件が簡単に設定できます。
- 並列処理・分散処理
エイチエスエス・シムランナー(HSS/Simrunner) Panoramic Technology社
- HSSの並列処理により計算速度を5倍~15倍速くします。
- 時間のかかるFDTDの計算(TEMPEST)に有効です
- PSS(PanoramicSimServer)の数を増やせば、分散処理により数の分だけ処理を早くすることが可能です。