FullChipの特長
研究開発と生産のためのリソグラフィ技術ソフトウェア
- ○ 十分大きい領域に適用できます
- ○ 高速かつ正確
- ○ 空間像/レジスト/エッチ輪郭の計算
- ○ 設計検証、ホットスポット検出
- ○ プロセスウィンドウ/PVバンド解析
- ○ OPC、ルールベース/モデルベースのSRAF配置
- ○ マルチパターニング分解、リターゲッティング
- ○ パワフルなパターンマッチャー
- ○ 3Dベクトル効果を含むマスクモデル
- ○ コンパクトなレジストモデル
- ○ レイアウトサーバーと複数のクライアントから成る計算環境をサポート
- ○ 分散コンピューティングをサポート
- ○ WindowsとLinuxをサポート
