特長
EM-Suite（EM-スイート）のソフトウエア・パッケージでリソグラフィ、検査装置など様々なシミュレーションがきます:
- ○ 3D厳密電磁シミュレーションでフォトマスク上の散乱をシミュレーション
- ○ 大気、液浸、積層薄膜内でのイメージ計算、ベクトルイメージ計算
- ○ 3Dでの露光、ベーク(拡散/反応式) 化学増幅レジスト現像の計算
主な応用事例
（以下はEM-Suite＋TEMPESTpr2で実現できます）
- 液浸リソグラフィ
- 渋谷－レベンソン型位相シフトマスク
- ハーフトーン型位相シフトマスク
- クロムレス PSM (CPL)
- バイナリーマスク
- EUV マスク
- EUV 積層ミラーの欠陥
- ウエハー検査
- マスク検査
- Scatterometry(光波散乱計測2D & 3D)
- ガラス上クロム (バイナリー)マスク
- ソース最適化
- マスク最適化
- グレーチング
- ピンホール
- 収束ビーム
- 欠陥解析
- 他
