PanTune(TM) チューナの特長
- ○ インポートされた GDS-II レイアウトに Model-Based Optical Proximity Correctionアルゴリズムを適用
- ○ PanOPC OPC機能
- ○ 補正したレイアウトのエクスポート（GDS-IIに戻し、正確に階層に挿入します）
- ○ EM-Suite に組み込んだシミュレータとして使用 (rigorous or scalar, 空中像やレジスト像)
- ○ OPC パラメータを変数として設定可能 - tune the OPC algorithms to particular layouts
- ○ 小域での適用 (チップ全体には適用できません)
- ○ 大面積のタイル化とスティッチ － SimRunnerと動作
