特長
- ○ 二重露光に最適
- ○ 液浸気泡、反射切込、非平坦レジスト表面、下地構造
- ○ TEMPESTpr2によるレジスト内トポグラフィ厳密解
- ○ ハードウエア加速処理、並列処理
- ○ ウエハー形状の設定と視覚化を行う強力な３D形状エディター
最先端技術をリードするシミュレーションソフトウエアを駆使することで、コスト、時間の 無駄を省き、高パフォーマンス、ローコストの製品開発を短時間で実現させます。 この急激な技術革新に対応するには、シミュレーションソフトウエアが不可欠です。 インターソフトは皆様のご要望に、性能、価格、サポート面で100％お答えできる シミュレーションソフトウエアのご提供を目指しています。
