PanSEMによるSEM
画像のシミュレーション
PanSIAによるSEM画像解析
SEM画像をシミュレーションにより形成します。
物理モデルを基本としています
SEM誘起による縮小を考慮しています
シミュレーションで得られたSEM CD
と実験で得られたSEM CDを比較してレジストモデルパラメータの較正を行います
SEM画像解析ツールPanSIAを含みます
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