製品のご案内

Panoramic Technology

EM-Suite

  • 先進リソグラフィ用 3D電磁界シミュレータ
    イーエム・スイート(EM-Suite) Panoramic Technology社

  • 3D電磁界シミュレーションソフトウエア TEMPESTprを使用して先進のリソグラフィのシミュレーションをおこないます。
  • Anisotropic griddingにより、三次元の計算を約10倍早く行い、パソコンでの実行を実現しました。
  • マスク上の図形、異物、欠陥などを編集します。UC Berkeleyで開発された差分タイムドメーン電磁界シミュレータTEMPESTに
    インターフェースされ、解析されます。OPCやPSM、EUV等がシミュレーションできます。

HyperLith

  • 設定が簡単な3Dリソグラフィシミュレータ
    ハイパーリソ(HyperLith) Panoramic Technology社

mask-in-stepperリソグラフィシミュレーションが簡単に設定ができ、結果がすぐに得られます。
複雑な設定用にあらかじめ設定されたテンプレートが用意されています。
プロセスウインドウやステッパーのパラメータ等のリソグラフィ条件が簡単に設定できます。

HyperLith

  • 並列処理・分散処理
    エイチエスエス・シムランナー(HSS/Simrunner) Panoramic Technology社

  • HSSの並列処理により計算速度を5倍~15倍速くします。
  • 時間のかかるFDTDの計算(TEMPEST)に有効です
  • PSS(PanoramicSimServer)の数を増やせば、分散処理により数の分だけ処理を早くすることが可能です。