FullChipシミュレータ
製品のご案内
FullChipの特長
研究開発と生産のためのリソグラフィ技術ソフトウェア
- 十分大きい領域に適用できます
- 高速かつ正確
- 空間像/レジスト/エッチ輪郭の計算
- 設計検証、ホットスポット検出
- プロセスウィンドウ/PVバンド解析
- OPC、ルールベース/モデルベースのSRAF配置
- マルチパターニング分解、リターゲッティング
- パワフルなパターンマッチャー
- 3Dベクトル効果を含むマスクモデル
- コンパクトなレジストモデル
- レイアウトサーバーと複数のクライアントから成る計算環境をサポート
- 分散コンピューティングをサポート
- WindowsとLinuxをサポート
