• Gazillion（GDS/OASISレイアウト）

Gazillionオプションは、GDS-IIレイアウトからのパターンの読み込み、閲覧、シミュレーションを可能にします。以下の機能が有ります。

○ Mask/Object, Aerial,ResistスクリーンにGDS2レイアウトのデータを直接取り込めます。

○ OPCソルバーでOPC1,OPC2のOPC補正をし、リソグラフィシミュレーションを行います。（PanOPCオプションが必要）

○ Crop, cut, copy, paste等のコマンドでレイアウトの修正が出来ます。

○ GDS-IIや.dsa/.dscriptフォーマットにインポートやエクスポートが出来ます。

○ HyperLithでは、GDSマルチサイトパターンにより、GDS-IIファイルを読み込み、表示の構造・レイアウトを選択し、レイアウトから一つまたは複数の領域を選んでシミュレーションを行うことができます。

○ EM-Suiteは、複数のGDSファイルの読み込み、複数のレイヤーの選択・閲覧、複数のレイヤーのシミュレーション、シミュレーション結果のソースパターンへの重ね合わせをサポートしています。