新しいFullChip Simulatorがリリースされました

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FullChipの特長

研究開発と生産のためのリソグラフィ技術ソフトウェア

  • 十分大きい領域に適用できます
  • 高速かつ正確
  • 空間像/レジスト/エッチ輪郭の計算
  • 設計検証、ホットスポット検出
  • プロセスウィンドウ/PVバンド解析
  • OPC、ルールベース/モデルベースのSRAF配置
  • マルチパターニング分解、リターゲッティング
  • パワフルなパターンマッチャー
  • 3Dベクトル効果を含むマスクモデル
  • コンパクトなレジストモデル
  • レイアウトサーバーと複数のクライアントから成る計算環境をサポート
  • 分散コンピューティングをサポート
  • WindowsとLinuxをサポート

以下にFullChip説明のPDFがあります。
FullChip概要
パターンマッチャ

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