リソグラフィ
シュミレータ

チップ全体で、リソグラフィシミュレーションが可能になります。
空間像/レジスト/エッチ輪郭を高速に計算、設計検証、ホットスポット検出をチップ全体で実現しました。

3D電磁界シミュレーションソフトウエア　TEMPESTprを使用して先進のリソグラフィのシミュレーションをおこないます。
Anisotropic griddingにより、三次元の計算を約10倍早く行い、パソコンでの実行を実現しました。
マスク上の図形、異物、欠陥などを編集します。UC Berkeleyで開発された差分タイムドメーン電磁界シミュレータTEMPESTにインターフェースされ、解析されます。OPCやPSM、EUV等がシミュレーションできます。

ステッパー（スキャナー）でのリソグラフィシミュレーションが簡単に設定ができ、結果がすぐに得られます。
複雑な設定用にあらかじめ設定されたテンプレートが用意されています。
プロセスウインドウやステッパーのパラメータ等のリソグラフィ条件が簡単に得られます。